潔凈廠房空調(diào)系統(tǒng)與一般工業(yè)建筑的空調(diào)系統(tǒng)的差異，它主要對管制區(qū)的潔凈度有非常高規(guī)定。半導(dǎo)體器件廠房內(nèi)，在硅襯底上只需落有電路線寬1/10～1/3大小的小浮塵，就會(huì)導(dǎo)致處理芯片線路短路。潔凈廠房空調(diào)系統(tǒng)除對潔凈度要求很高外，還對溫度、環(huán)境濕度、振動(dòng)、噪聲等都有不同水平規(guī)定。

與此同時(shí)，由于半導(dǎo)體器件生產(chǎn)工藝流程的特征，規(guī)定潔凈廠房內(nèi)24小時(shí)（24h)維持對應(yīng)的潔凈度，因此，清潔空調(diào)系統(tǒng)(包含通風(fēng)系統(tǒng))、向其配套冷、熱源以及相應(yīng)的輸送設(shè)備需每天24h運(yùn)作，也與其他空調(diào)系統(tǒng)極為不一樣。使用時(shí)間增長也使之空調(diào)系統(tǒng)的節(jié)能更加具有價(jià)值和實(shí)際意義。

為了實(shí)現(xiàn)潔凈廠房空調(diào)系統(tǒng)的節(jié)能目標(biāo)，可以采取一些常見的措施。例如，采用排架結(jié)構(gòu)隔熱保溫，系統(tǒng)變流量，使用排風(fēng)系統(tǒng)余熱回收技術(shù)，并應(yīng)用有效率的制冷機(jī)組和離心水泵或風(fēng)機(jī)等設(shè)備。這些措施能夠綜合運(yùn)用，以制定出潔凈廠房空調(diào)系統(tǒng)的節(jié)能設(shè)計(jì)方案，以達(dá)到節(jié)能效果。與此同時(shí)，潔凈廠房空調(diào)系統(tǒng)有自己的優(yōu)勢，都有自己的系統(tǒng)軟件節(jié)能特性和方法。

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